Název	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems
Klíč. název	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems
Klíč. název	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems (Online)
Vydavatel	Bellingham : SPIE-The International Society for Optical Engineering, 2002-2006
ISSN	1537-1646 print
ISSN	1817-6461 online
Obor	fyzika fy - PSH
Obor	elektrotechnika et - PSH
Dále jako	Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, ISSN 1932-5150

SFX: JIB NTK SKC EZB NTK MARC