Název	Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS
Klíč. název	Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS
Klíč. název	Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS (Online)
Vydavatel	Bellingham : SPIE-The International Society for Optical Engineering, 2007-
ISSN	1932-5150 print
ISSN	1932-5134 online
Obor	fyzika fy - PSH
Obor	elektrotechnika et - PSH
Dříve jako	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems, ISSN 1537-1646
Odběr	ABA013 [i]: 2011-2014

SFX: JIB NTK SKC EZB NTK MARC