| Název |
Journal of vacuum science & technology, B, Microelectronics and nanometer structures |
| Klíč. název |
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
| Klíč. název |
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online) |
| Vydavatel |
Melville : American Institute of Physics, 1983-2010 |
| ISSN |
1071-1023 print |
| ISSN |
1520-8567 online |
| Obor |
fyzika fy - PSH |
| Obor |
přírodní vědy ve - PSH |
| Obor |
věda a technika ve - PSH |
| Dříve jako |
Journal of vacuum science and technology, ISSN 0022-5355 |
| Dále jako |
Journal of vacuum science and technology, B, Nanotechnology & microelectronics, ISSN 2166-2746 |
| Odběr |
ABA013 [i]: 1991-1996 / sign. R 13359 |
| Odběr |
ULD001 [i]: 2003-2010 |
| Online |
ABD010 [i]: 1983-2010 |