Název	IEEE transactions on semiconductor manufacturing
Klíč. název	IEEE transactions on semiconductor manufacturing
Klíč. název	IEEE transactions on semiconductor manufacturing (Online)
Vydavatel	New York : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1988-
ISSN	0894-6507 print
ISSN	1558-2345 online
Obor	elektronika el - PSH
Obor	fyzika fy - PSH
Odběr	ABA013 [i]: 1988-2014 / sign. R 13699
Online	ABA013 [i]: 1988-2020

SFX: JIB NTK SKC EZB NTK MARC